非晶質シリコン・窒素およびシリコン・窒素・水素系の評価とその性質
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Sasaki, Goro
- 著者標目
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1984-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 1984-03-23
- 並列タイトル等
- Characterization and properties of amorphous Si:N and Si:N:H alloys
- 寄与者
- 佐々木, 昭夫川端, 昭松波, 弘之
- 授与機関名
- 京都大学