プラズマプロセス中のイオン照射により誘起される絶縁体および半導体材料の物性変化に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 濱野, 誉
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2023-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 2023
- 並列タイトル等
- A Study on Physical Property Changes in Dielectric and Semiconductor Materials Induced by Ion Irradiation During Plasma Processing
- 寄与者
- 江利口, 浩二嶋田, 隆広鈴木, 基史
- 授与機関名
- 京都大学Kyoto University
- 報告番号
- 甲第24612号