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博士論文

電子顕微鏡法を用いたワイドバンドギャップ半導体の結晶欠陥解析に関する研究

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電子顕微鏡法を用いたワイドバンドギャップ半導体の結晶欠陥解析に関する研究

資料種別
博士論文
著者
佐藤, 高広
出版者
-
出版年
2018-09-25
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
京都工芸繊維大学,博士（工学）
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資料に関する注記

一般注記：

type:Thesis我々が直面しているエネルギー問題や環境問題解決のため、パワーデバイスを用いた電力制御・高効率利用が期待されている。パワーデバイス材料として期待されているワイドバンドギャップ（WBG）半導体は、性能向上のために結晶欠陥低減やウエハ品質向上という問題を抱えている。本研究の目的は、電...

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目次

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
電子顕微鏡法を用いたワイドバンドギャップ半導体の結晶欠陥解析に関する研究
著者・編者
佐藤, 高広
著者標目
佐藤, 高広
出版年月日等
2018-09-25
出版年（W3CDTF）
2018-09-25
並列タイトル等
The study of crystal defect analysis of wide band gap semiconductors using electron microscopy
授与機関名
京都工芸繊維大学
授与年月日
2018-09-25
報告番号
甲第892号