反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性
デジタルデータあり（北見工業大学学術機関リポジトリ KIT-R）
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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 阿部, 良夫佐々木, 克孝川村, みどり加藤, 清彦Abe, YoshioSasaki, KatsutakaKawamura, MidoriKato, Kiyohiko
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001-03
- 出版年（W3CDTF）
- 2001-03
- 本文の言語コード
- jpn
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- application/pdf研究代表者 阿部 良夫 // 科学研究費補助金(基礎研究C)研究成果報告書 // 平成11～12年度 // 研究課題番号：11650311 // 資料ID:00008663755