磁気光学結晶-on-insulator基板の実現とナノフォトニクスへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 磁気光学結晶-on-insulator基板の実現とナノフォトニクスへの応用
• 著者・編者: 太田, 泰友
• 著者標目: 太田, 泰友
• 出版年月日等: 2022
• 出版年（W3CDTF）: 2022
• 並列タイトル等: ジキ コウガク ケッショウ-on-insulator キバン ノ ジツゲン ト ナノフォトニクス エノ オウヨウ; Jiki kōgaku kesshō-on-insulator kiban no jitsugen to nanofotonikusu eno ōyō; Fabrication of magneto-optical crystal-on-insulator substrates and their applications to nanophotonics
• タイトル（掲載誌）: 科学研究費補助金研究成果報告書
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 磁気光学,フォトニック結晶,メタ表面,集積フォトニクス
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 出版タイプ： VoR; type:text; 本研究では、磁気光学（MO）材料単結晶ウェハをガラス上に融着し研磨とエッチングにより薄膜化することでMOOI基板(MO crystal On Insulator基板)の実現に成功した。また、MO材料のイットリウム鉄ガーネットに対する微細加工技術の構築に取り組み、様々なドライエッチング技術を検討した。加えて、MOOI基板を活用した磁気ナノフォトニクス構造を検討し、メタ表面、フォトニック結晶、シリコンとのハイブリッド構造を評価し、極薄Faraday回転子の設計に成功した。 In this project, we realized magneto-optical (MO) crystal on insulator (MOOI) substrates by bonding monocrystalline MO-material wafers to glass and then grinding, polishing and etching them. We also worked on the development of nanopatterning techniques for the MO material (here we used yttrium iron garnets) by plasma dry etching based on different etching gases. In addition, we investigated magneto nanophotonic structures based on the MOOI substrate, such as MO metasurfaces, photonic crystals, and hybrid structures with Si nanostructures, and found a design for ultrathin MO Faraday rotators.; 研究種目 : 基盤研究 (C) (一般) 研究期間 : 2019～2022 課題番号 : 19K05300 研究分野 : ナノフォトニクス
• 関連情報: 科研費研究者番号 : 90624528
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 慶應義塾大学 : 慶應義塾大学学術情報リポジトリ