超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用

資料種別: 文書・図像類

著者: 春木, 将司ほか

出版者: 金沢大学理工研究域機械工学系

出版年: 2016-05-22

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

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資料に関する注記

一般注記：: 本研究では、まず、超臨界二酸化炭素中においてポリイミド中間体であるポリアミド酸生成時における流体相状態の変化を明らかにするとともに、重合条件と生成ポリアミド酸の分子量の関係を明らかにした。さらに、高圧ポリイミド微細加工装置を新規開発し、超臨界二酸化炭素中における操作条件とポリイミド薄膜成膜速度ならび...

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書誌情報

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資料種別: 文書・図像類
タイトル: 超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用
著者・編者: 春木, 将司
Haruki, Masashi
著者標目: 春木, 将司
Haruki, Masashi
出版事項: 金沢大学理工研究域機械工学系
出版年月日等: 2016-05-22
出版年（W3CDTF）: 2016-05-22
並列タイトル等: Clarification of production mechanism of polyimide in supercritical carbon dioxide and application to microfabrication technique
タイトル（掲載誌）: 平成24(2012)年度科学研究費補助金若手研究(B) 研究成果報告書 = 2012 Fiscal Year Final Research Report
巻号年月日等（掲載誌）: 2011-2012
掲載巻: 2011-2012
掲載ページ: 4p.-
本文の言語コード: jpn
件名標目: ポリイミド
超臨界二酸化炭素
薄膜
埋め込み
微細加工
対象利用者: 一般
一般注記: 本研究では、まず、超臨界二酸化炭素中においてポリイミド中間体であるポリアミド酸生成時における流体相状態の変化を明らかにするとともに、重合条件と生成ポリアミド酸の分子量の関係を明らかにした。さらに、高圧ポリイミド微細加工装置を新規開発し、超臨界二酸化炭素中における操作条件とポリイミド薄膜成膜速度ならびに膜形状の関係を明らかにした。また、微細加工を付した基板上への埋め込みについて検討した。
In the present work, the changes of phase behaviors were clarified during reaction of production of polyamic acid, which is intermediate of polyimide, in supercritical carbon dioxide. And the relationship between the polymerization condition and the molecular weight of produced polyamic acid. Moreover, the high-pressure apparatus for microfabrication of polyimide was newly developed, and the relationships operating condition, deposition rate and morphology of polyimide thin film were clarified. Finally, the implantation of polyimide into the microscopic space on the surface of the substrate was discussed.
研究課題/領域番号:23760722, 研究期間(年度):2011-2012
出典：研究課題「超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用」課題番号23760722（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-23760722/23760722seika/）を加工して作成
DOI: 10.24517/00051981
一次資料へのリンクURL: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=45644&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=45644&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
著作権情報: CC BY-NC-ND
関連情報: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90432682
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760722/
https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-23760722/23760722seika/
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA