アモルファス／結晶ハイブリッド型シリコン光集積回路

資料種別: 文書・図像類

著者: 丸山, 武男ほか

出版者: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系

出版年: 2014-06-05

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 次世代ネットワーク用超高速・小型光集積回路用に波長850nm帯のシリコン光集積回路を提案する。この波長帯を用いることで、結晶シリコンを光検出器として用いることが可能となり、LSIとの集積も容易になる。そして光導波路に高屈折率材料を用いることで、光回路の小型化が実現できる。そこで、CMOS標準プロセス...

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 文書・図像類
タイトル: アモルファス／結晶ハイブリッド型シリコン光集積回路
著者・編者: 丸山, 武男
Maruyama, Takeo
著者標目: 丸山, 武男
Maruyama, Takeo
出版事項: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系
出版年月日等: 2014-06-05
出版年（W3CDTF）: 2014-06-05
並列タイトル等: Amorphous/Crystalline Hybrid Silicon Photonic Integrated Circuits
タイトル（掲載誌）: 平成25(2013)年度科学研究費補助金若手研究(B) 研究成果報告書 = 2013 Fiscal Year Final Research Report
巻号年月日等（掲載誌）: 2012-04-01 - 2014-03-31
掲載巻: 2012-04-01 - 2014-03-31
掲載ページ: 6p.-
本文の言語コード: jpn
件名標目: 光集積回路
光検出器
光導波路
シリコンフォトニクス
対象利用者: 一般
一般注記: 次世代ネットワーク用超高速・小型光集積回路用に波長850nm帯のシリコン光集積回路を提案する。この波長帯を用いることで、結晶シリコンを光検出器として用いることが可能となり、LSIとの集積も容易になる。そして光導波路に高屈折率材料を用いることで、光回路の小型化が実現できる。そこで、CMOS標準プロセスを用いてアバランシェ光検出器を作製した。この素子は受光面積を縮小させることでpn接合での容量を低減させることができ高速化が期待できる。最大帯域として9GHzを得た。またCF4ドライエッチング技術を用いTa2O5をコアとするマルチモード光導波路を作製し、導波路損失1dB/cmを得た。
We propose the 0.8 um range silicon photonic integrated circuits for a next generation network and a compact photonic receiver. In optical interconnection, 0.8 um wavelength region vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) and Si photodiodes (PDs) are used for realizing low cost systems. Si avalanche PDs (APDs) was fabricated by the complementary metal-oxide-semiconductor process are expected for optical interconnection applications due to easy integration with trans-impedance amplifiers (TIA) and the following electronic circuits.The bandwidth of APDs was increased with decreasing the detection area and decreasing the electrode PAD size because of decreased depletion capacitance at pn junctions and the PAD capacitance. The maximum bandwidth of 9 GHz was obtained. We fabricated multi-mode Ta2O5 waveguides by a CF4 reactive ion etching process. The propagation loss of 1 dB/cm was obtained at 830nm,
研究課題/領域番号:24760271, 研究期間(年度):2012-04-01 - 2014-03-31
出典：「アモルファス／結晶ハイブリッド型シリコン光集積回路」研究成果報告書　課題番号24760271（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-24760271/24760271seika/）を加工して作成
DOI: 10.24517/00052484
一次資料へのリンクURL: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=46150&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=46150&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
著作権情報: CC BY-NC-ND
関連情報: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=60345379
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24760271/
https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-24760271/24760271seika/
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA