物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用

資料種別: 文書・図像類

著者: 岩森, 暁ほか

出版者: -

出版年: 2012-05-31

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 東海大学 / 金沢大学理工学域機械工学系近年環境問題の高まりから、現場環境計測技術の重要性が高くなっている。各種の微量濃度のガスを検知するセンサとして、水晶微小天秤法(QCM)は有効な手法である。いくつかの物理気相蒸着法(高周波スパッタリング、蒸着重合、プラズマ支援蒸着重合)により水晶振動子(QCM...

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 文書・図像類
タイトル: 物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用
著者・編者: 岩森, 暁
Iwamori, Satoru
著者標目: 岩森, 暁
Iwamori, Satoru
出版年月日等: 2012-05-31
出版年（W3CDTF）: 2012-05-31
並列タイトル等: Characterization of gas adsorption thin film prepared by physical vapor deposition methods and application for gas sensors
タイトル（掲載誌）: 平成23(2011)年度科学研究費補助金基盤研究(C) 研究成果報告書 = 2011 Fiscal Year Final Research Report
巻号年月日等（掲載誌）: 2009 – 2011
掲載巻: 2009 – 2011
掲載ページ: 6p.-
本文の言語コード: jpn
件名標目: 物理気相蒸着法
有機薄膜
ガス吸着
QCM
対象利用者: 一般
一般注記: 東海大学 / 金沢大学理工学域機械工学系
近年環境問題の高まりから、現場環境計測技術の重要性が高くなっている。各種の微量濃度のガスを検知するセンサとして、水晶微小天秤法(QCM)は有効な手法である。いくつかの物理気相蒸着法(高周波スパッタリング、蒸着重合、プラズマ支援蒸着重合)により水晶振動子(QCM)電極上に有機薄膜を形成し、揮発性有機溶剤(VOC)のガス吸着特性をQCM法により評価した。本吸着は物理吸着であり、QCM電極上に形成した有機薄膜の極性、及び薄膜の密度に影響されることが分かった。また、低分子量のVOCに対する感度もVOCの官能基に特異性を示し、VOCの簡易検知センサとして応用できる可能性を示した。
Highly sensitive detection methods for volatile organic compounds(VOCs) are needed in working environment handling the VOCs. The use of a quartz crystal microbalance(QCM) is one such method, and we report on adsorption properties of organic thin films deposited onto the QCM electrode by physical vapor depositions, e. g., vacuum evaporation, plasma-assisted vacuum evaporation and r. f. sputtering, for low molecular weight VOCs. The adsorption phenomenon is considered to be a physical adsorption. Polarization and density of these organic thin films affect adsorption mass of these VOC molecules. In the fluorocarbon thin films sputtered with a Poly(tetrafluoroethylene)(PTFE) target, sensitivities for these aliphatic alcohols were almost the same level, however the sensitivities for acetone were higher than those for these aliphatic alcohols. It is considered that these organic thin films can be used for a sensor of detection of these VOCs.
研究課題/領域番号:21560744, 研究期間(年度):2009 – 2011
出典：研究課題「物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用」課題番号21560744（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））（https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-21560744/21560744seika/）を加工して作成
DOI: 10.24517/00059638
一次資料へのリンクURL: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=53355&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=53355&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
著作権情報: CC BY-NC-ND
関連情報: https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=90345603
https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-21560744/
https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-21560744/21560744seika/
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA