博士論文

機能性材料形成装置の開発とセンサー・分析への応用に関する研究

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機能性材料形成装置の開発とセンサー・分析への応用に関する研究

資料種別
博士論文
著者
仲林, 裕司
出版者
-
出版年
2023-03-14
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
金沢工業大学,博士(工学)
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資料に関する注記

一般注記:

type:学位論文;Thesis or Dissertation本論文は,ミスト化学気相成長法及びミストデポジション法を用いた材料形成装置を開発し,形成した機能性材料の物性評価により明らかとなった特性をセンサー・分析分野へ応用した研究についてまとめている.  形成した機能性材料は,酸化ガリウム薄膜で...

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
仲林, 裕司
著者標目
出版年月日等
2023-03-14
出版年(W3CDTF)
2023-03-14
並列タイトル等
キノウセイザイリョウケイセイソウチノカイハツトセンサー・ブンセキヘノオウヨウニカンスルケンキュウ
授与機関名
金沢工業大学
授与年月日
2023-03-14
報告番号
乙第62号