並列タイトル等スイネツホウ ニ ヨル ハツデン デバイス ノ イリョウ カンキョウ モニタリングセンサー ヘ ノ オウヨウ
Application of tranduducer power device develope by ultrasonic assisted hydrothermal method for Health and environmental monitoring sensor
巻号年月日等（掲載誌）基盤研究(C)(一般) 研究課題番号 19K04411
一般注記type:text
圧電薄膜材料における環境保全観点とエネルギー貯蔵やＳＡＷディバイスセンサー等への要望が高まっていることから当初予定された超音波アシスト水熱合成法による鉛系ＰＺＴ圧電厚膜の生成から非鉛圧電薄膜の生成を着目点として研究を進めた。具体的には、非鉛材料であるLiNbO3とLiTaO3単結晶を基板としてKNbO3薄膜の生成を実験、シミュレーション両方で実施した。成膜の実験から反応時間と温度を制御することによって膜の最適化が可能となり一回の生成でLiNbO3基板上に約２７μmのKNbO3薄膜の成長に成功した。薄膜の圧電性質・光学性質をレーザドップラ振動計（LDV）と分光測定方法により求めることができた。Due to the growing awareness of environmental hazard and demand on new type of small-scale energy harvester, SAW device sensors, research goal was focused on synthesis of lead-free piezoelectric material from synthesis of thick PZT film for high power application by ultrasonic assisted hydrothermal method. In this research, KNbO3, LiNbO3 and LiTaO3 materials which has higher Curie temperature then PZT as well as high piezoelectric properties and optical properties. Well-ordered KNbO3 film was synthesized on LiNbO3 and LiTaO3 single crystal substrates by hydrothermal method. Simulation was also carried out to understand size effect and resonance frequency of synthesis films. 27μm thick KNbO3 film was synthesized on LiNbO3 single crystal substrate by single reaction for the first time. Piezoelectric properties and optical properties of synthesized film was evaluated by Laser Doppler Vibration (LDV) and Optical absorbance measurements. Measurement results showed prominent results.
科学研究費助成事業研究成果報告書 研究種目：基盤研究(C)（一般）, 研究期間：2019～2022, 課題番号：19K04411 研究分野：非鉛圧電材料、バイオセンサー、エネルギーハーベスト, 研究者番号：60807915. 9p.
identifier:JOS-kaken19K04411
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