放射光軟X線顕微XAFS装置の立ち上げ

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 放射光軟X線顕微XAFS装置の立ち上げ
• 著者・編者: 馬場 祐治; 関口 哲弘; 下山 巖; 平尾 法恵
• 著者標目: 馬場 祐治; 関口 哲弘; 下山 巖; 平尾 法恵
• 出版年月日等: 2007-01
• 出版年（W3CDTF）: 2007-01
• 並列タイトル等: Outline of micro-XAFS system installed at the synchrotron soft X-ray beamline
• タイトル（掲載誌）: JAEA-Technology 2006-058
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 高エネルギー加速器研究機構放射光科学研究施設(KEK-PF)の放射光ビームラインBL-27Aに設置された軟X線顕微X線吸収微細構造(顕微XAFS)測定装置の概要をまとめた。本装置は、固体表面のミクロンからナノメートルオーダーの局所領域における形状,凹凸,元素分布,化学結合状態分布のマッピングを行うことを目的として設置された。報告書では、装置の概要,仕様,操作法について述べた後、紫外光源を用いたSiマイクロパターンの観察と分解能測定及び放射光軟X線を用いたSi-SiO$_{2}$マイクロパターンの測定結果を記す。; The present report summarizes the outline and details of synchrotron soft X-ray micro-XAFS (X-ray absorption fine structure) system installed at the synchrotron beamline (BL-27A) of the Photon Factory (PF), High Energy Accelerator Research organization (KEK). The system was installed for the purpose of measuring morphology, element-selective and chemical-state-selective mappings of solid surfaces at micrometer or nanometer scale. In this report, the detailed outlines, specification, and operation manual are firstly described. Then the experimental data about the observations on Si micro-pattern and estimation of spacial resolution using ultraviolet light are presented.Preliminary experimental results for chemical-state-selective mapping of Si/SiO$_{2}$ micro-patterns using synchrotron radiation are also presented.
• 一次資料へのリンクURL: /JAEA-Technology-2006-058.pdf （fulltext）; https://jopss.jaea.go.jp/pdfdata/JAEA-Technology-2006-058.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : JOPSS:JAEA Originated Papers Searching System

• 要約等: 高エネルギー加速器研究機構放射光科学研究施設(KEK-PF)の放射光ビームラインBL-27Aに設置された軟X線顕微X線吸収微細構造(顕微XAFS)測定装置の概要をまとめた。本装置は、固体表面のミクロンからナノメートルオーダーの局所領域における形状,凹凸,元素分布,化学結合状態分布のマッピングを行うこ...