炭素の吸収端を含む波長4nm領域用多層膜反射鏡の開発

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 炭素の吸収端を含む波長4nm領域用多層膜反射鏡の開発
• 著者・編者: 石野 雅彦; 依田 修; 小池 雅人
• 著者標目: 石野 雅彦; 依田 修; 小池 雅人
• 出版年月日等: 2005-09
• 出版年（W3CDTF）: 2005-09
• 並列タイトル等: Development of multilayer mirrors for use in the wavelength region of 4 nm
• タイトル（掲載誌）: JAERI-Research 2005-019
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 炭素のK殻吸収端(波長:4.4nm)を含む波長4nm領域で機能する軟X線多層膜反射鏡の開発を行った。成膜材料として、重元素層にコバルト酸化物(Co$_3$O$_4$)及びクロム(Cr)を、軽元素層にシリコン酸化物(SiO$_2$)及びスカンジウム(Sc)を選択し、Co$_3$O$_4$/SiO$_2$多層膜,Co$_3$O$_4$/Sc多層膜、そしてCr/Sc多層膜をイオンビームスパッタ(IBS)法により成膜した。X線回折測定による構造評価から、Co$_3$O$_4$/Sc多層膜及びCr/Sc多層膜が反射鏡に適した安定した多層膜構造を有することがわかった。また、放射光を用いた波長4nm領域における軟X線反射率測定を行った結果、Cr/Sc多層膜が高い反射率を実現することがわかった。また、炭素のK殻吸収端よりも短波長側において反射率が大きく減少する原因が炭素のコンタミネーションであることを、電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)分析及び二次イオン質量分析(SIMS)によって確認した。; We have developed soft X-ray multilayer mirrors for use around the wavelength region of 4 nm including the K-absorption edge of carbon ($\lambda = 4.4 nm$). We have chosen Co$_3$O$_4$ and Cr as the final candidate materials for absorber layers, and SiO$_2$ and Sc for the spacer materials as the result of theoretical invitation. Co$_3$O$_4$/SiO$_2$, Co$_3$O$_4$/Sc and Cr/Sc multilayer mirrors have been fabricated by means of an ion beam sputtering (IBS) method. As the result of structure evaluations with X-ray diffraction measurement, we have found that the fabricated Co$_3$O$_4$/Sc and Cr/Sc multilayer mirrors have stable structures. Soft X-ray reflectivity measurements for fabricated multilayer mirrors are carried out in the wavelength region of 4 nm with a synchrotron radiation source. We have found that the Cr/Sc multilayer mirror has a high soft X-ray reflectivity. However, soft X-ray reflectivities below the absorption edge of carbon are reduced. The analyses obtained by EPMA and SIMS suggested that this phenomenon was attributed to contamination of carbon.
• 一次資料へのリンクURL: /JAERI-Research-2005-019.pdf （fulltext）; https://jopss.jaea.go.jp/pdfdata/JAERI-Research-2005-019.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : JOPSS:JAEA Originated Papers Searching System

• 要約等: 炭素のK殻吸収端(波長:4.4nm)を含む波長4nm領域で機能する軟X線多層膜反射鏡の開発を行った。成膜材料として、重元素層にコバルト酸化物(Co$_3$O$_4$)及びクロム(Cr)を、軽元素層にシリコン酸化物(SiO$_2$)及びスカンジウム(Sc)を選択し、Co$_3$O$_4$/SiO$_2...