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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- FURUKOSHI, mitsuo / MURANOI, tetsuo / KIKUMA, isao
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1969-12
- 出版年（W3CDTF）
- 1969-12
- 並列タイトル等
- Oxygen Effects of Phosphorus and Boron Diffusion in Silicon
- タイトル（掲載誌）
- 茨城大学工学部研究集報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 17