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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 柳田, 建三 / 真瀬, 寛 / 田辺, 利夫 / 竹内, 学 / 長坂, 秀雄YANAGIDA, kenzo / MASE, hiroshi / TANABE, toshio / TAKEUCHI, manabu / NAGASAKA, hideo
- 著者標目
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1984-09-07
- 出版年(W3CDTF)
- 1984-09-07
- 並列タイトル等
- Fabrication of RuO_2 Thin Films by Ion Beam Sputtering
- タイトル(掲載誌)
- 茨城大学工学部研究集報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 32