文書・図像類

反応性スパッタリングにより作製した酸化チタン薄膜の電気的性質

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反応性スパッタリングにより作製した酸化チタン薄膜の電気的性質

資料種別
文書・図像類
著者
田中, 光広 / 竹内, 学 / 金子, 冨士男 / 長坂, 秀雄 / 柴田, 孝夫ほか
出版者
茨城大学工学部
出版年
1984-09-07
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
田中, 光広 / 竹内, 学 / 金子, 冨士男 / 長坂, 秀雄 / 柴田, 孝夫
TANAKA, mitsuhiro / TAKEUCHI, manabu / KANEKO, fujio / NAGASAKA, hideo / SHIBATA, takao
出版年月日等
1984-09-07
出版年(W3CDTF)
1984-09-07
並列タイトル等
Electrical Properties of Reactive-Sputtered Titanium Oxide Films
タイトル(掲載誌)
茨城大学工学部研究集報
巻号年月日等(掲載誌)
32