並列タイトル等Study on the fabrication and high-performance of ultra-micro lithium secondary batteries embedded in silicon chips
タイトル(掲載誌)科学研究費助成事業(科学研究費補助金)研究成果報告書
一般注記type:Working Paper
研究成果の概要 (和文) : シリコン超LSI技術を駆使し、300ミクロン平方のAu/LiMn2O4(正極)/過塩素酸リチウム添加ポリメタル酸メチル樹脂(固体電解質)/多結晶シリコン(負極)構造をシリコン基板に埋め込んだ微小リチウム2次電池の開発を行った。充電電流3nA、放電電流10pA時の放電容量は3.7nAh/cm2であった。シリコン負極へのリチウムイオンの挿入・脱着過程における負極表面の構造変化を電子顕微鏡を用い原子レベルで観測した。
研究成果の概要 (英文) : All-solid-state Li ion secondary battery, consisting of multiple layers (Poly Si anode / a poly methacrylate acetate (PMMA) electrolyte / LiMn2O4 cathode), is prepared using Si very-large-scale integration technologies. The PMMA solid electrolyte containing LiClO4 for the battery is embedded into an individual trench (300×300 μm2 in area and 2.0 μm in depth) of a double insulating layer (Si3N4/SiO2), which is directly stacked on a poly Si layer, leading to a Li free anode. The individual battery demonstrates a specific capacity of 3.70 nAh/cm2 obtained for the charge of 3 nA anddischarge of 10 pA.
一次資料へのリンクURLhttps://hosei.ecats-library.jp//da/repository/00010021/14_kaken_2012_kuriyama.pdf
連携機関・データベース国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース(IRDB)(機関リポジトリ)