窒化炭素および窒化ホウ素非晶質薄膜の作成と機械的特性に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Shiroya, Tomoyasu
- 著者標目
- Shiroya, Tomoyasu シロヤ, トモヤス
- 並列タイトル等
- Study on the preparation of Carbon Nitride and Boron Nitride amorphous films and their mechanical properties
- 授与機関名
- 千葉工業大学
- 授与年月日
- 2016-03-22
- 報告番号
- 甲第189号
- 学位
- 博士(工学）
- 本文の言語コード
- jpn