Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"

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Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"

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資料種別: その他
タイトル: Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
出版年月日等: 2018
出版年（W3CDTF）: 2019-03-07
本文の言語コード: und
件名標目: Auger depth profiling analysis
HfO2/Si
Ultra low angle incidence ion beam
対象利用者: 一般
一般注記: 出版タイプ： NA
DOI: 10.48505/nims.4193
https://doi.org/10.48505/nims.4193
記録形式（IMT）: application/zip
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
関連情報: Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
https://doi.org/10.48505/nims.4167
isSupplementTo : Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
https://doi.org/10.1384/jsa.24.192
関連情報（DOI）: 10.48505/nims.4167
https://doi.org/10.48505/nims.4167
10.1384/jsa.24.192
https://doi.org/10.1384/jsa.24.192
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 物質・材料研究機構 : Materials Data Repository