半導体研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体研究
• タイトルよみ: ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｹﾝｷｭｳ
• 巻次・部編番号: １４
• 著者・編者: 半導体研究振興会 編 ; 津田穣 著 ; 横田晃 著 ; 柳川隆之 著 ; 山本恭二 著 ; 加藤宏 著 ; 篠崎俊昭 著 ; 野々垣三郎 著 ; 中村正 著
• タイトル標目: 半導体研究 ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｹﾝｷｭｳ
• 著者標目: 半導体研究振興会 ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ, ｹﾝｷｭｳ, ｼﾝｺｳｶｲ; 津田穣 ﾂﾀﾞ,ﾕﾂﾞﾙ; 横田晃 ﾖｺﾀ,ｱｷﾗ; 柳川隆之 ﾔﾅｶﾞﾜ,ﾀｶﾕｷ; 山本恭二 ﾔﾏﾓﾄ,ｷｮｳｼﾞ; 加藤宏 ｶﾄｳ,ﾋﾛｼ; 篠崎俊昭 ｼﾉｻﾞｷ,ﾄｼｱｷ; 野々垣三郎 ﾉﾉｶﾞｷ,ｻﾌﾞﾛｳ; 中村正 ﾅｶﾑﾗ,ﾀﾀﾞｼ
• 出版事項: 東京 : 工業調査会
• 出版年月日等: １９７７
• 出版年（W3CDTF）: 1977
• 数量: ３７６ｐ ; ２７ｃｍ
• 入手可能性: 利用可
• 所蔵機関: 神奈川県立川崎図書館
• 請求記号: 549.7-H4 14
• 連携機関・データベース: 神奈川県立川崎図書館 : 公共図書館蔵書
• 書誌ID（SomokuID）: 1100188705; 70305339

• 内容細目: 超ＬＳＩ技術 １ 微細加工（提供元: 公共図書館蔵書）