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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 0-07-067250-4
- タイトルよみ
- ＭＩＣＲＯＣＨＩＰ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ : A PRACTICAL GUIDE TO SEMICONDUCTOR PROCESSING
- 著者・編者
- ＰｅｔｅｒｖａｎＺａｎｔ 著
- 版
- ３ｒｄ ｅｄ．
- タイトル標目
- Ｍｉｃｒｏｃｈｉｐ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ＭＩＣＲＯＣＨＩＰ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ
- 著者標目
- Ｐｅｔｅｒ, ｖａｎ, Ｚａｎｔ ＶＡＮ, ＺＡＮＴ，ＰＥＴＥＲ
- 出版年月日等
- 199700