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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チョウ ビサイ デンシ カイロ ジツケン シセツ ケンキュウ ホウコク スーパー クリーン ルーム ギジュツ トクシュウ
- 巻次・部編番号
- 1
- 著者・編者
- 東北大学電気通信研究所／編
- 著者標目
- 東北大学電気通信研究所 トウホクダイガクデンキツウシンケン
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1988.04
- 出版年（W3CDTF）
- 1988-04
- 数量
- 680p26cm