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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Abstract
pi~i
第1章 序論
p1~5
第2章 離散的イオン照射の概念と照射条件の基本的検討
p6~11
第3章 離散的イオン照射による基板の作成とその特性の検証
p12~25
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 0286-2255
- ISSN-L
- 0286-2255
- タイトル
- タイトルよみ
- キカイ ギジュツ ケンキュウジョ ホウコク
- 巻次・部編番号
- (188)
- 著者・編者
- 産業技術総合研究所機械技術研究所 編
- 著者標目
- 産業技術総合研究所機械技術研究所 サンギョウ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ キカイ ギジュツ ケンキュウジョ
- 出版年月日等
- 2000-12