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37(1) 2001.1
- 単結晶サファイアを用いた静電容量式マイクロ圧力センサ
p.29~35
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 0453-4654
- ISSN-L
- 0453-4654
- タイトル
- タイトルよみ
- ケイソク ジドウ セイギョ ガッカイ ロンブンシュウ
- 巻次・部編番号
- 37(1) 2001.1
- 出版年月日等
- 2001
- 出版年(W3CDTF)
- 2001
p.29~35
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