島津評論 = Shimadzu review

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 島津評論
• タイトルよみ: シマズ ヒョウロン
• 巻次・部編番号: 73(3・4)=226:2016
• 著者・編者: 島津評論編集部 [編]
• 著者標目: 責任刊行者 ： 島津製作所 シマズ セイサクジョ ( 00256766 )典拠
• 出版事項: 京都 : 島津評論編集部; 東京 : オーム社 (発売)
• 出版年月日等: 2016
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号(昭和15年11月)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Shimadzu review Shimadzu review; Shimadzu review
• ISSN（掲載誌）: 0371-005X
• ISSN-L（掲載誌）: 0371-005X
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• NDLC: ZN11
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-472
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000010386; http://id.ndl.go.jp/bib/000000010386
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則

目次

半導体製造装置,FPD製造装置向けターボ分子ポンプ (特集 産業機器)

ハイブリッド軸受型ターボ分子ポンプTMP-B300形の開発 (特集 産業機器)

ドライポンプ内蔵ヘリウムリークディテクタの開発 (特集 産業機器)

島津プラズマ応用成膜装置 (特集 産業機器)

高速スパッタリング成膜装置を用いたアプリケーションの開発 (特集 産業機器)