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目次
122(5) 2002.5
- 陰極にターゲット電極を備えた紫外線レーザトリガ真空ギャップの始動特性
p.440~445
- 岐阜県大多和で観測された直流電車のレール漏れ電流による地電位差変化の研究
p.446~453
- マイクロ波H2Oプラズマを用いたポリエチレンの分解処理
p.454~460
- 繰り返し火花放電を用いた高周波誘導熱プラズマ初期点火の改善とその基礎特性
p.461~468
122(3) 2002.3
- 負極性直線状沿面放電の進展モデルとその解析解
p.229~235
- 負極性沿面放電の進展モデルの解析解の導出
p.236~241
- 回転電界と磁界とを利用した質量分析装置の試み
p.250~260
- 高E/n放電空間における振動準位の高いN2(C3Πu)の生成過程
p.261~266
122(2) 2002.2
- 特集 平成13年基礎・材料・共通部門大会
p.133~223
122(4) 2002.4
- 解説 半導体プロセスとプラズマ表面反応
p.357~360
- 回路時定数を考慮したTOF過渡電流の解析
p.367~372
- 抵抗皮膜を有する複合電波吸収材料の開発および評価
p.373~377
- マイクロギャップ無声放電による高濃度オゾン生成
p.378~383
122(1) 2002.1
- 2002年研究開発の動向
p.1~8
- 解説 超LSIリソグラフィ技術の現状と動向
p.9~12