電子材料(11 (別冊))

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 0387-0774
• ISSN-L: 0387-0774
• タイトル: 電子材料
• タイトルよみ: デンシ ザイリョウ
• 巻次・部編番号: (11 (別冊))
• 著者標目: 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )典拠
• 出版事項: 東京 : 工業調査会
• 出版年月日等: 1985-11
• 出版年（W3CDTF）: 1985-11
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: 液晶ディスプレイ技術 エキショウ ディスプレイ ギジュツ
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 別冊とも
• DOI: 10.11501/3280577; https://doi.org/10.11501/3280577
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3280577; https://dl.ndl.go.jp/pid/3280577
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T17:36:23+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)
• 請求記号: Z16-225
• 原資料（JPNO）: 00015919
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3380986; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380986
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

最近の超LSIフロセスとその動向

8インチウェハフロセスヘ対応と問題点

超LSI時代における組立技術

半導体製造装置用光電子センサの開発動向

半導体製造装置市場の最新動向