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電子材料 (11 (別冊))

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電子材料(11 (別冊))

国立国会図書館請求記号
Z16-225
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3280591
資料種別
雑誌
出版者
工業調査会
出版年
1986-11
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
26cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)

刊行巻次:

1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)

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目次

  • 超LSI製造・試験装置ガイドブック-1987年版-

    p1~127

  • ドライエッチング装置

    日本電気 高橋盛 ; 尾崎純

    p128~133

  • スバッタリングシステム

    リコー 田路悟

    p134~139

  • ダイボンダ

    東京三洋電機 田村寛 ; 小林栄一

    p140~147

  • ワイヤボンダ

    日立製作所 巳亦力 ; 山崎勇 ; 高島一寿

    p148~153

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
ISSN
0387-0774
ISSN-L
0387-0774
タイトル
タイトルよみ
デンシ ザイリョウ
巻次・部編番号
(11 (別冊))
著者標目
工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )典拠
出版年月日等
1986-11
出版年(W3CDTF)
1986-11