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電子材料 (11 (別冊))

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電子材料(11 (別冊))

国立国会図書館請求記号
Z16-225
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3280775
資料種別
雑誌
出版者
工業調査会
出版年
2000-11
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
26cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)

刊行巻次:

1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)

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目次

  • 「1」総論 /

    p2~44

  • 実用化の広がりが期待されるSOI技術

    東京農工大学 垂井康夫

    p2~6

  • 300mmウェハ対応半導体製造装置の動向

    半導体先端テクノロジーズ(Selete)宮武久和 ; 安平光雄

    p7~13

  • 超変動対応・低コスト生産工場(Agile-Fab)の実現に向けて

    東芝 見方裕一 ; 奥村勝弥

    p14~20

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
ISSN
0387-0774
ISSN-L
0387-0774
タイトル
タイトルよみ
デンシ ザイリョウ
巻次・部編番号
(11 (別冊))
著者標目
工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )典拠
出版年月日等
2000-11
出版年(W3CDTF)
2000-11