電子通信学会論文誌 C C 68(7)(211)
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目次
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- 磁気記録用Co基合金スパッタ膜の磁気ひずみ
p524~531
- 各種ア-ク放電の接触抵抗に及ぼす影響
p540~547
- 反応スパッタ法によるC軸配向AlN膜の高速形成
p548~555
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