ULVAC technical journal

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: ULVAC technical journal
• タイトルよみ: ULVAC technical journal
• 巻次・部編番号: 84号 2021年4月
• 著者・編者: アルバック総務部総務課 編
• 著者標目: アルバック アルバック ( 00887743 )典拠; アルバックコーポレートセンター アルバック コーポレート センター ( 01146976 )典拠; 日本真空技術株式会社 ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ ( 00294656 )典拠
• 出版事項: 茅ヶ崎 : アルバック総務部 (出版)
• 出版年月日等: 2021
• 出版年（W3CDTF）: 2021
• 出版表示等に関する注記: 出版地の変更あり; 出版者変遷: 日本真空技術 (-no. 27)→ アルバック・コーポレートセンターマーケティング部 (no. 28- no. 76)
• 刊行巻次・年月次: [ ]-
• 大きさ: 28-30 cm
• ISSN（掲載誌）: 0910-6189
• ISSN-L（掲載誌）: 0910-6189
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• NDLC: ZN15
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 編者変遷: 日本真空技術 (-no. 27)→ アルバック・コーポレートセンターマーケティング部 (no. 28- no. 76)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1471
• 関連情報: 他言語版 : ULVAC technical journal (ISSN:1345-9058); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000161720
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000043422; http://id.ndl.go.jp/bib/000000043422
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則