精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 精密工学会誌
• タイトルよみ: セイミツ コウガッカイシ
• 巻次・部編番号: 70巻9号(通号837) 2004年9月
• 著者・編者: 会誌編集委員会 編
• 著者標目: 精密工学会 セイミツ コウガッカイ ( 00299339 )典拠
• 出版事項: 東京 : 精密工学会
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 出版表示等に関する注記: 52巻1号からv. 82, no. 10までの頒布者: 丸善
• 刊行巻次・年月次: 52巻1号 = 613号 (1986年1月)-
• 大きさ: 26-30cm
• 付属資料: CD-ROM (70巻1号以降)
• 並列タイトル等: Journal of the Japan Society for Precision Engineering Journal of the Japan Society for Precision Engineering; Journal of the Japan Society for Precision Engineering; Journal of the Japan Society of Precision Engineering
• ISSN（掲載誌）: 0912-0289; 1348-8716
• ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289; 1348-8716
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN12
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 並列タイトル変遷: Journal of the Japan Society of Precision Engineering (52巻1号-57巻4号)
• 総目次・総索引注記: 総目次・総索引あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-466
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000013203; 吸収前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000004268081
• 改題後: 派生後 : 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編 70巻1号-; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000004268081
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000043699; http://id.ndl.go.jp/bib/000000043699
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

グラビアとインタビュー 精密工学の最前線 フォトリソグラフィー技術をコアに多様に展開--大日本印刷株式会社 鈴木浩助/毛利弘

特集 MEMS設計・製造技術

展望 MEMSの技術動向と設計技術の役割 (特集 MEMS設計・製造技術)

MEMSパッケージングの設計製造 (特集 MEMS設計・製造技術)

光MEMSの設計・製造技術 (特集 MEMS設計・製造技術)