イオン注入表層処理シンポジウム予稿集(12)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: イオン注入表層処理シンポジウム予稿集
• タイトルよみ: イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ シンポジウム ヨコウシュウ
• 巻次・部編番号: (12)
• 著者標目: イオン注入表層処理研究会 イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ ケンキュウカイ ( 00377974 )典拠
• 出版事項: 和光 : イオン注入表層処理研究会
• 出版年月日等: 1996-11
• 出版年（W3CDTF）: 1996-11
• 刊行巻次・年月次: 1回 (1985年11月20日)-
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Proceedings of the Symposium on Surface Layer Modification by Ion Implantation; 日中イオン表面優化学術交流会論文集 ニッチュウ イオン ヒョウメン ユウカ ガクジュツ コウリュウカイ ロンブンシュウ; イオン注入表層処理シンポジウム論文集 イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ シンポジウム ロンブンシュウ; 日中イオン表面優化学術交流会・イオン注入表層処理シンポジウム論文集 ニッチュウ イオン ヒョウメン ユウカ ガクジュツ コウリュウカイ イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ シンポジウム ロンブンシュウ
• ISSN（掲載誌）: 0917-1460
• ISSN-L（掲載誌）: 0917-1460
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP5
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 基本標題: 5回 (1989年11月13-17日) 日中イオン表面優化学術交流会・イオン注入表層処理シンポジウム論文集; 出版地の変更あり
• DOI: 10.11501/3328144; https://doi.org/10.11501/3328144
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3328144; https://dl.ndl.go.jp/pid/3328144
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-30T11:11:32+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1回 (1985年11月20日)-17回 (2001年11月30日)
• 請求記号: Z17-1131
• 原資料（JPNO）: 00065432
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3381741; https://dl.ndl.go.jp/pid/3381741
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

0-1 IBMM'96とPSII

0-2 イオンビームとプラズマの複合技術による材料の表層改質

0-3 イオン注入装置--最近の動向と応用

P-1 負イオンを含んだプラズマのプラズマポテンシャル

P-2 炭素イオンビームデポジションにおける正負イオンの違いIIグラファイト上での入射サイトの効果