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(通号 16) 2000.11.24
- PBII法による絶縁物へのイオン注入
p.23~27
(通号 17) 2001.11.30
- ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法
p.15~17
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- タイトルよみ
- イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ シンポジウム ヨコウシュウ
- 巻次・部編番号
- 16-17 20001100-20011100
- 著者標目
- イオン注入表層処理研究会 イオン チュウニュウ ヒョウソウ ショリ ケンキュウカイ ( 00377974 )典拠
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年(W3CDTF)
- 2000-2001
- 刊行巻次・年月次
- 1回 (1985年11月20日)-
- 大きさ
- 30cm