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目次
80(5) 1997.05
- SPE法によるSOI層の熱酸化膜の評価
p.151~156
- 埋込みゲートを有する縦型MOS FET
p.157~163
- 空間光変調素子用ポリマー分散液晶の構造設計
p.164~171
- SPE法によるSOI層中の不純物拡散
p.181~183
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 0915-1907
- ISSN-L
- 0915-1907
- タイトル
- タイトルよみ
- デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ ロンブンシ
- 巻次・部編番号
- C-2280巻5号(通号101) 1997年5月
- 部編名
- エレクトロニクス電子素子・応用
- 著者・編者
- 電子情報通信学会 編