表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 表面技術
• タイトルよみ: ヒョウメン ギジュツ
• 巻次・部編番号: 68巻7号 2017年7月
• 著者標目: 表面技術協会 ヒョウメン ギジュツ キョウカイ ( 00284188 )典拠
• 出版事項: 東京 : 表面技術協会
• 出版年月日等: 2017
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 刊行巻次・年月次: 40巻1号 (1989)-
• 大きさ: 26-30cm
• 並列タイトル等: Journal of the Surface Finishing Society of Japan Journal of the Surface Finishing Society of Japan; Journal of the Surface Finishing Society of Japan
• ISSN（掲載誌）: 0915-1869
• ISSN-L（掲載誌）: 0915-1869
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP41
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-291
• 改題前: 合併前 : 金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編]; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000005799; 合併前 : 実務表面技術 / 金属表面技術協会 [編]; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000010133
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000066619; http://id.ndl.go.jp/bib/000000066619
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則

目次

MEMS研究と応用の最新動向 (小特集 最新のMEMS事情)

MEMS技術の医用応用 (小特集 最新のMEMS事情)

スマートアクチュエータ材料成膜と微細加工のMEMSへの応用 (小特集 最新のMEMS事情)

MEMS製作のためのエッチング加工の動向 : シリコンを例として (小特集 最新のMEMS事情)

圧電薄膜アクチュエータ (小特集 最新のMEMS事情)