「プラズマプロセシング研究会」資料

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 「プラズマプロセシング研究会」資料
• タイトルよみ: プラズマ プロセシング ケンキュウカイ シリョウ
• 著者・編者: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会事務局 編
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: 東京 : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会事務局
• 出版年月日等: [1984]-1989
• 出版年（W3CDTF）: 1984; 1989
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行頻度: 年刊
• 刊行巻次・年月次: [1回]-6回 (平成1年1月25/27日)
• 数量: 冊
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: Proceedings of the Symposium on Plasma Processing Proceedings of the Symposium on Plasma Processing
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 他言語標題: 5回 (昭和63年1月28-30日) まで 表示なし
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 2回 (昭和60年1月29/31日)-6回 (平成1年1月25/27日)
• 請求記号: Z15-676
• 改題後: 継続後 : 「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス / プラズマプロセシング研究会現地実行委員会 編; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000074697
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000074693; http://id.ndl.go.jp/bib/000000074693
• 全国書誌番号: 00080316
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131