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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings (91)

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SEMIテクノロジーシンポジウム講演予稿集 : SEMI Technology Symposium proceedings(91)

国立国会図書館請求記号
Z16-2540
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3331107
資料種別
雑誌
出版者
SEMIジャパン
出版年
1991-12
刊行頻度
-
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

所蔵巻次等:

1991-1999

刊行巻次:

[ ]-

一般注記:

本タイトル等は最新号による英文併記1995までのタイトル関連情報: Technical proceedings...

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目次

  • SEMIテクノロジーシンポジウム91プログラム

    プログラムチェアマン:富士通(株) 電子デバイス事業本部本部長代理 柳田公雄氏

  • 1991年12月6日(金)幕張メッセ コンベンションホールA

    プログラムチェアマン:富士通(株) 柳田公雄氏

    p1~140

  • 1991年12月6日(金)幕張メッセ コンベンションホールB

    セッションチェアマン:日本電気(株)半導体生産技術本部本部長代理 水野修氏

    p141~184

  • 1991年12月6日(金)幕張メッセ コンベンションホールB

    セッションチェアマン:沖電気工業(株) 電子デバイス事業本部プロセス技術センター長 溝上裕夫氏 ; 日本電信電話(株) LSI 研究所第一プロジェクトチームリーダー 荒川英輔氏

    p185~249

  • 1991年12月7日(土)幕張メッセ コンベンションホールA

    大阪大学 工学部電子工学科助教授 谷口研二氏

    p251~329

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書誌情報

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デジタル

資料種別
雑誌
タイトルよみ
SEMI テクノロジー シンポジウム コウエン ヨコウシュウ : SEMI Technology Symposium proceedings
巻次・部編番号
(91)
著者・編者
SEMIテクノロジーシンポジウムプログラム委員会 編
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
1991-12
出版年(W3CDTF)
1991-12
刊行巻次・年月次
[ ]-