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目次
27(2) (通号 142) 2005.4
- 展望 MEMSの信頼性
p.92~121
- MEMSの信頼性 (展望 MEMSの信頼性)
p.92~104
- MEMSの機械的信頼性 (展望 MEMSの信頼性)
p.105~112
- MEMSにおける張り付きとその対策 (展望 MEMSの信頼性)
p.113~121
- 探訪 MEMS研究最前線 東京大学生産技術研究所 藤田研究室
p.122~126
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 0919-2697
- ISSN-L
- 0919-2697
- タイトル
- タイトルよみ
- シンライセイ : ニホン シンライセイ ガッカイシ
- 巻次・部編番号
- 27巻2号(通号142) 2005年4月
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2005
- 出版年(W3CDTF)
- 2005