電気学会技術報告(790)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 電気学会技術報告
• タイトルよみ: デンキ ガッカイ ギジュツ ホウコク
• 巻次・部編番号: (790)
• 著者標目: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電気学会
• 出版年月日等: 2000-05
• 出版年（W3CDTF）: 2000-05
• 刊行巻次・年月次: 457号 (1993年4月)-
• 大きさ: 26-30cm
• ISSN（掲載誌）: 0919-9195
• ISSN-L（掲載誌）: 0919-9195
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN31
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• DOI: 10.11501/3237612; https://doi.org/10.11501/3237612
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3237612; https://dl.ndl.go.jp/pid/3237612
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T14:18:02+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 457号 (1993年4月)-; 939, 983, 1052, 1055, 1078, 1082, 1087号は単行資料扱い (CD-ROM)
• 請求記号: Z16-874
• 原資料（JPNO）: 00094823
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3380964; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380964
• 改題前（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2385092; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385092; info:ndljp/pid/2385745; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385745
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• DOI: 10.11501/3237612; https://doi.org/10.11501/3237612
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/3237612; https://dl.ndl.go.jp/pid/3237612
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2012-01-27T14:18:02+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 457号 (1993年4月)-; 939, 983, 1052, 1055, 1078, 1082, 1087号は単行資料扱い (CD-ROM)
• 請求記号: Z16-874
• 原資料（JPNO）: 00094823
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3380964; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380964
• 改題前（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2385092; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385092; info:ndljp/pid/2385745; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385745
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

非平衡プラズマと微細加工のモデリング--モデリング及び基礎理論・基礎計測における最近の進展/3～99

1. はじめに

2. 微細加工の諸問題と最近の進展

3 モデリング技術の最近の進展

4. 基礎理論･基礎計測の最近の進展