半導体製造装置データブック = Semiconductor equipment data book

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 半導体製造装置データブック
• タイトルよみ: ハンドウタイ セイゾウ ソウチ データブック
• 巻次・部編番号: 2014
• 著者標目: 電子ジャーナル デンシ ジャーナル ( 01045417 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電子ジャーナル
• 刊行巻次・年月次: 1994-2014
• 大きさ: 28cm
• 並列タイトル等: Semiconductor equipment data book Semiconductor equipment data book; Semiconductor equipment data book
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZD61; ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z3-B317
• 異版: 異版; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000011095313
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000093723; http://id.ndl.go.jp/bib/000000093723
• 全国書誌番号: 00099468
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131

目次

目次

序章

本書の利用にあたって/ 16

第1編 半導体製造装置の地域・国別市場動向

-半導体工場の設備投資動向-

第1章 世界/ 22