Sony Technical Reports 26(3/4);1987
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A. 化合物半導体 = Semiconductor materials//~3
1 GaAsへ高濃度イオン注入されたSiの格子位置決定/笠原二郎 ; 奥洞明彦/1~1
2 多数枚成長MOCVDによる選択ドープAlGaAs/GaAs構造の均一性(18a-W-11)/中村文彦 ; 河合弘治 ; 小島千秋/1~1
3 Si注入によるGaAsn+層形成に及ぼす注入損傷の効果(19p-ZD-2)/鈴木俊治 ; 笠原二郎/1~1
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- 巻次・部編番号
- 26(3/4);1987
- 出版年月日等
- [1987]
- 出版年(W3CDTF)
- 1987
- 刊行巻次・年月次
- 26(1):1987 -
- 大きさ
- 26 cm
- ISSN(掲載誌)
- 0916-7153
- ISSN-L(掲載誌)
- 0916-7153