International Journal of the Japan Society for Precision Engineering33(4);1999・12

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: International Journal of the Japan Society for Precision Engineering
• 巻次・部編番号: 33(4);1999・12
• 出版事項: Tokyo : Japan Society for Precision Engineering
• 出版年月日等: 1999-12
• 出版年（W3CDTF）: 1999-12
• 刊行巻次・年月次: 25(1):1991.3 - 33(4):1999.12
• 大きさ: 30 cm
• ISSN（掲載誌）: 0916-782X
• ISSN-L（掲載誌）: 0916-782X
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: ZN12
• 一般注記: Description based on the latest issue
• DOI: 10.11501/11023648; https://doi.org/10.11501/11023648
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11023648; https://dl.ndl.go.jp/pid/11023648
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2018-03-09
• 公開開始日（W3CDTF）: 2018-09-06
• 受理日（W3CDTF）: 2018-01-15T18:38:46+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 25(1):1991.3 - 33(4):1999.12
• 請求記号: Z53-S37
• 原資料（JPNO）: 10045441
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11028904; https://dl.ndl.go.jp/pid/11028904
• 改題前（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11029034; https://dl.ndl.go.jp/pid/11029034
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

CONTENTS/

Review//271～287

Chemical Machining by Laser Beam Irradiation/Hitoshi TOKURA ; Hirofumi HIDAI/271～275

Challenges in EDM Technology/Masanori KUNIEDA/276～282

Model of Anisotropic Etching Process for Single Crystal Silicon/Seiji HIRAI/283～287