超精密加工面の評価への光干渉の応用に関する研究 : 特に観察面の振動の影響を受けない方法について
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チョウセイミツ カコウメン ノ ヒョウカ エ ノ ヒカリ カンショウ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ : トクニ カンサツメン ノ シンドウ ノ エイキョウ オ ウケナイ ホウホウ ニ ツイテ
- 著者・編者
- 安達正明 [著]
- 著者標目
- 安達, 正明 アダチ, マサアキ
- 授与機関名
- 大阪府立大学
- 授与年月日
- 昭和63年5月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 乙第563号
- 学位
- 工学博士