Three-dimensional simulation of VLSI devices
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 執行直之 [著]
- 著者標目
- 執行, 直之 シギョウ, ナオユキ
- 並列タイトル等
- VLSIデバイスの三次元シミュレーション VLSI デバイス ノ サンジゲン シミュレーション
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 昭和63年11月9日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 乙第4838号
- 学位
- 工学博士