ガリウム砒素基板結晶中の固有欠陥およびイオン注入損傷に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ガリウム ヒソ キバン ケッショウチュウ ノ コユウ ケッカン オヨビ イオン チュウニュウ ソンショウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 野島俊司 [著]
- 著者標目
- 野島, 俊司 ノジマ, シュンジ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月18日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1988
- 報告番号
- 乙第8813号
- 学位
- 工学博士