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博士論文

X線を用いた微細加工に関する研究

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X線を用いた微細加工に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-90-K352
国立国会図書館書誌ID
000000231239
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11393606
資料種別
博士論文
著者
吉岡信行 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
日本大学,理学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
Xセン オ モチイタ ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
吉岡信行 [著]
著者標目
吉岡, 信行 ヨシオカ, ノブユキ
並列タイトル等
A study of microfabrication usiug X-rays
授与機関名
日本大学
授与年月日
平成2年3月12日
授与年月日(W3CDTF)
1990
報告番号
乙第3945号