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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ CVD オヨビ プラズマ ヨウシャ ニ ヨル バリアーガタ タイショクセイ ヒマク ノ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 門哲男 [著]
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成2年8月3日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1990
- 報告番号
- 乙第5088号
- 学位
- 工学博士