酸素拡散と熱伝導による非晶質シリカ薄膜の構造の研究
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目次
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論文目録
-目次-
p3
第1章 緒論
p1
1-1.研究の背景とその目的
p1
文献
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- サンソ カクサン ト ネツ デンドウ ニ ヨル ヒショウシツ シリカ ハクマク ノ コウゾウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 須佐匡裕 [著]
- 著者標目
- 須佐, 匡裕 スサ, マサヒロ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成2年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1990
- 報告番号
- 乙第2095号
- 学位
- 工学博士