高次原料ガスを用いた低温CVD法とその薄膜トランジスタ応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
論文目次
第1章 序論
p1
1.1 ディスプレイデバイスの現状と展望
p1
1.2 薄膜トランジスタ駆動液晶ディスプレイ
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウジ ゲンリョウ ガス オ モチイタ テイオン CVDホウ ト ソノ ハクマク トランジスタ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 加納博司 [著]
- 著者標目
- 加納, 博司 カノウ, ヒロシ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成4年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第2458号
- 学位
- 工学博士