プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1-1 本研究の意義および目的
p1
1-2 プラズマCVD法の概略
p4
1-3 従来の研究
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ CVDホウ ニ ヨル テッコウ ザイリョウ エ ノ コウシツ テイマサツマク ノ ケイセイ
- 著者・編者
- 小栗和幸 [著]
- 著者標目
- 小栗, 和幸 オグリ, カズユキ
- 授与機関名
- 名古屋工業大学
- 授与年月日
- 平成4年9月10日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第42号
- 学位
- 工学博士